化学机械抛光试验机用于工艺和产品开发。该平台可提供多种抛光工艺来优化产品开发。包括广泛的速度范围、闭环加载力控制、多功能晶圆夹具和自动浆料输送系统。它在抛光过程中可以监测多个在线信号。除了抛光晶片和基板外,该抛光机还配有在线三维形貌仪。这种组合提供了有关表面、摩擦和磨损如何变化的信息。
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2026-05-22
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ASTM G119电化学材料腐蚀磨损检测机主要用于材料表面及涂层在不同载荷、不同转速以及腐蚀溶液中进行的摩擦性能和耐磨强度的试验研究。主要模拟海、江湖、河及人体体液中的腐蚀摩擦状态,摩擦力显示精度高。
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2026-05-19
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化学机械摩擦抛光机用于工艺和产品开发。该平台可提供多种抛光工艺来优化产品开发。包括广泛的速度范围、闭环加载力控制、多功能晶圆夹具和自动浆料输送系统。它在抛光过程中可以监测多个在线信号。除了抛光晶片和基板外,该抛光机还配有在线三维形貌仪。这种组合提供了有关表面、摩擦和磨损如何变化的信息。
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2026-05-19
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化学机械抛光机用于工艺和产品开发。该平台可提供多种抛光工艺来优化产品开发。包括广泛的速度范围、闭环加载力控制、多功能晶圆夹具和自动浆料输送系统。它在抛光过程中可以监测多个在线信号。除了抛光晶片和基板外,该抛光机还配有在线三维形貌仪。这种组合提供了有关表面、摩擦和磨损如何变化的信息。
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2026-05-07
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