非接触式三维形貌测量仪具有技术性能、分辨率和多功能性，其高速扫描和高分辨率，为表面测试提供多种解决方案。多种模式为一体，共聚焦+白光干涉+暗场+明场+变焦，从多种材料获得三维形貌：同一平台上多个光学器件的组合允许以多种模式测量不同类型的样品。

化学机械抛光机用于工艺和产品开发。该平台可提供多种抛光工艺来优化产品开发。包括广泛的速度范围、闭环加载力控制、多功能晶圆夹具和自动浆料输送系统。它在抛光过程中可以监测多个在线信号。除了抛光晶片和基板外，该抛光机还配有在线三维形貌仪。这种组合提供了有关表面、摩擦和磨损如何变化的信息。

真空摩擦磨损测试仪将广获好评的摩擦磨损试验结构纳入真空室内，使得真空状态下的各种摩擦磨损试验成为可能。因此，以往难以做到的真空中状态下的产品评估变得简单易行，可广泛运用于航天工业或新材料、新技术等研发领域。

低负载磨损试验机可以测量过去一直被视为难关的(0.1g)微小载荷至*大10Kg的载荷。 采用高速达3000rpm且宽度达80mm的转台，可以进行广泛多样的磨损试验。 微小载荷磨损试验机通过板簧按压方式实现了*小载荷为0.1g至10g的载荷测量。 转台采用的是不影响微小载荷测量的低振动新型转台。 对过去很难测量的薄膜与表面处理等的磨损现已能够进行**的测量。

广域负载摩擦磨损试验机应用于 检测汽车、轴承材料、密封材料等摩擦磨损特性。 检测润滑材料的摩擦磨损特性。 检测各种表面处理的摩擦磨损特性。

气流喷砂冲蚀试验机可进行重复冲击测试。试验机使用装有磨料砂粒的气体，可在一定温度下(高达900°C)对样品进行冲蚀试验，具有温度闭环控制。试验机通过将样品暴露于不同形状、大小、温度和冲击速度的不同磨料颗粒来评估不同材料和涂层的抗侵蚀能力。