化学机械摩擦抛光机用于工艺和产品开发。该平台可提供多种抛光工艺来优化产品开发。包括广泛的速度范围、闭环加载力控制、多功能晶圆夹具和自动浆料输送系统。它在抛光过程中可以监测多个在线信号。除了抛光晶片和基板外，该抛光机还配有在线三维形貌仪。这种组合提供了有关表面、摩擦和磨损如何变化的信息。

ASTM G76气体喷砂侵蚀试验机可进行重复冲击测试。试验机使用装有磨料砂粒的气体，可在一定温度下(高达900°C)对样品进行冲蚀试验，具有温度闭环控制。试验机通过将样品暴露于不同形状、大小、温度和冲击速度的不同磨料颗粒来评估不同材料和涂层的抗侵蚀能力。

白光干涉三维光学形貌仪-2000具有精确的垂直测量范围、精确的载物台，可测量多种样品的粗糙度、台阶高度、薄膜厚度和进行形貌分析。经济实惠 高精确度，全自动光学显微镜，亚纳米分辨率

高分辨率三维光学形貌仪具有技术性能、分辨率和多功能性，其高速扫描和高分辨率，为表面测试提供多种解决方案。多种模式为一体，共聚焦+白光干涉+暗场+明场+变焦，从多种材料获得三维形貌：同一平台上多个光学器件的组合允许以多种模式测量不同类型的样品。

高分辨率三维光学形貌测量仪具有高速扫描、多种成像技术和高分辨率，为大范围样品表面成像提供解决方案。6合1成像分析：白光干涉+共聚焦+光谱膜厚+亮、暗场+变焦+AFM，同一平台上多个光学器件的6合1组合允许以纳米分辨率测量多种类型的样品。

ISO 14577-5材料机械性能检测平台可表征材料的机械性能，例如硬度、模量、划痕附着力、薄膜厚度，以及表面粗糙度和许多其他性能，仅用一个平台就能满足全部。IST模块可提供压痕和划痕复合测试功能，同时结合压电驱动和电容传感器，来保证纳米到微米范围内最高精度的测量。除了IST模块之外，还可选择膜厚测量模块、三维形貌系统或环境模块。